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产品名称：膜厚测量仪品牌：KLA-Filmetrics型号：F50/F54关键词标签：膜厚仪、椭偏仪、Filmetrics简短描述：采用光谱反射技术实现nm到mm级薄膜厚度测量的自动光学膜厚测试系统。
产品名称：光谱椭偏仪品牌：J.A. Woollam型号：RC2关键词标签：椭偏仪、椭圆偏振仪，折射率简短描述：采用双旋转补偿技术，可测量穆勒矩阵的全部16个单元，RC2是J.A.Woollam公司的最新的光谱椭偏仪产品。
产品名称：液体颗粒度仪品牌：日本RION型号：KS-41A/B（光阻专用）关键词标签：液体颗粒、颗粒计数、LPC、Rion简短描述：KS-41A主要应用于测量光刻胶及溶剂中颗粒数量。
产品名称：电感耦合等离子体质谱仪品牌：美国PE型号NexION 5000G ICP-MS关键词标签：质谱，ICP MS，等离子体质谱仪简短描述：NexION 5G ICP-MS采用多重四级杆技术，具有出色的检测限，高精度和可重现性。
