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产品名称：台阶仪/探针式轮廓仪品牌：KLA型号：Tencor P-7关键词标签：台阶仪、轮廓仪、表面粗糙度、应力简短描述： P-7可以对nm-µm级台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接
产品名称：光学轮廓仪品牌：KLA型号：Zeta-300关键词标签：光学轮廓仪、共聚焦显微镜、缺陷检测、白光干涉简短描述：Zeta-300是采用ZDot™专利技术和Multi-Mode光学系统的落地式非接触式表面轮廓测试系统。
Lumina AT1光学表面缺陷扫描仪
产品名称：散射式扫描近场光学显微镜品牌：Molecular Vista型号：Vista One关键词标签：纳米红外、原子力红外联用、原子力拉曼联用、扫描近场光学显微镜简短描述： Molecular Vista的散射式扫描近场光学显微镜，同时使用光诱导力显微镜和散射式近场光学显微镜对于样品进行成像。。
