一、简介

Zeta-300光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统，具有集成的隔震系统和灵活的配置。该系统采用ZDot™测量技术和Multi-Mode (多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。

Zeta-300的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot™测量模式可同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot或集成宽带反射仪都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta -300提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度测量，以及缺陷检测能力，支持研发和生产环境。

二、 功能

ž   主要功能

台阶高度：纳米到毫米级别的3D台阶高度

纹理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度

外形：3D翘曲和形状

应力：2D薄膜应力

薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度

缺陷检测：捕获大于1μm的缺陷

缺陷复检：采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

ž   技术特点

Zeta-300是采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光学器件的简单易用的光学轮廓仪，具有广泛的应用：

可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜。

Z-Dot：同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像

ZXI：白光干涉测量技术，适用于Z向分辨率高的广域测量

ZIC：干涉对比度，适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据

ZSI：剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像

ZFT：使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率

AOI：自动光学检测，并对样品上的缺陷进行量化

生产能力：通过测序和图案识别实现全自动测量，支持3D Scanning

大尺寸Wafer测量：最大测量尺寸可扩展至8寸

ž   技术能力

三、应用

ž   肖特玻璃-表面粗糙度

可用来测试玻璃等透明表面及不透明表面的形貌和表面粗糙度。

ž   太阳能电池–不同反射率表面形貌测量

轻松获得复杂差异化反射率样品的表面形貌。

ž   MEMS器件–台阶高度和粗糙度

小尺寸样品nm级台阶精度，大尺寸样品的亚微米台阶精度。

ž   镜头-完整的表面轮廓

图像拼接功能，可获得大面积样品的完整表面轮廓。

ž   高分子薄膜-膜厚测量

可用于PI和PR薄膜的厚度测量，并可生成整片晶圆上的膜厚mapping。

ž   蓝宝石-图案化晶片表面缺陷

可对特定缺陷进行三维轮廓扫描并进行相关测量，并对晶圆表面缺陷按尺寸、亮度、长宽比等进行分布统计并生成mapping。

四、其他

ž   国内用户

南京大学

南京邮电大学

上海交通大学

ž   国外用户

麻省理工学院

加州大学达拉斯分校

耶鲁大学

德州大学奥斯汀分校

西部数据

应用材料

博世

莱彻斯特大学

希捷