列真株式会社自2015年成立以来，秉承“挑战"、“创造"、“诚实"的经营理念，为顾客提供可靠、可信的产品和服务。运用激光扫描技术、专注于半导体材料表面及内部检查、光罩缺陷检查、石英玻璃表面检查等检测设备的生产和制造。

LODAS™–BI8（A150为全自动型号）光罩缺陷检查装置，探测缺陷可小至100nm，主要用于半导体光罩、石英玻璃表面、内部、背面的缺陷检查。

特征：

·            可检查铬膜、半色调膜、光阻膜

·            白缺陷、黑缺陷的自动判别

·            不仅是表面缺陷，内部缺陷和背面缺陷也同时检查。

·            有助于缺陷分析的4种Review图像。

·            “AI Classify”进行缺陷分类、好坏判定。

·            免维护。

·            使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合检查装置。

规格：

·            检查激光：405nm 200mW LaserDiode

·            检查时间：180sec

·            检查对象：6英寸 Photomask blanks、Cr、Resist、MoSi

·            检测原理：散射（顶部+底部）+共焦

·            缺陷灵敏度：100nm PSL

·            设备尺寸：WxDxH＝450x500x730mm

·            使用电源：AC100V~200V 10A

检出缺陷：

颗粒、划痕、凹坑、气泡。

缺陷Review功能：

检查结束后、可以立即通过微分显微镜进行缺陷形状Review。