手持式尘埃粒子计数器KC-52/51
产品名称：手持式气体颗粒计数仪
品牌：日本RION
型号：KC-51/52
关键词标签：Particle Counter、颗粒计数、Rion
简短描述：KC-51/52主要应用于无尘室环境中颗粒数量的监控。
品牌：日本RION
型号：KC-51/52
关键词标签：Particle Counter、颗粒计数、Rion
简短描述：KC-51/52主要应用于无尘室环境中颗粒数量的监控。
一、简介
半导体芯片制造工艺需要在千级/百级无尘室内进行，FAB无尘室中空气中颗粒数量需要管控。KC-51为手持式式气体颗粒计数仪，具有成本低，操作简单的优点。
二、KC-51主要技术参数
测试原理：光散射法
测量最小粒径：0.3µm
用户可选通道：
3 channels: 0.3m, 0.5m, 5m (Default setting)
2 channels: 0.3m, 0.5m
2 channels: 0.5m, 5.0m
（KC-52为5 channels: ≥0.3µm, ≥0.5µm, ≥1.0µm, ≥2.0µm, ≥5.0µm）
气体流速: 2.83L / min
最大颗粒浓度：140 000 000 particles/m3 (coincidence loss 10%)
