一、         简介

作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对大型样品进行缺陷检测。Park NX20，这款精密的大尺寸样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。

Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。高精密度带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。真正非接触扫描模式让探针尖端更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。

二、         主要功能

l  技术特点

1)      三轴分离的平板式扫描器

2)      低噪声XYZ位置传感器

3)      高速Z轴扫描器，扫描范围15μm

4)      样品尺寸：8/12寸以下

5)      自动多样点扫描，集成编码器的XY自动载样台（编码器可用于所有自动样品载台，并可保证更高的重复定位精度，从而可更精确地控制样品测量位置。XY马达运动工作时分辨率为1 µm，重复率为2 µm。Z马达运动的分辨率为0.1 µm，重复率为1 µm）

6)      易于换针，易插拔扩展槽。

l  选项/模式

三、         应用

用于故障分析和大型样品研究的领先的纳米计算工具，满足各个领域的研究

n  缺陷检查成像和分析

n  高分辨率电子扫描模式

n  对样品合基片进行表面粗糙度测量

n  样品侧壁三维结构的测量