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产品名称：光学轮廓仪品牌：KLA型号：Zeta-20关键词标签：光学轮廓仪、共聚焦显微镜、粗糙度、白光干涉简短描述：Zeta-20是采用ZDot™技术和Multi-Mode光学系统的非接触式表面轮廓测试系统。
产品名称：白光干涉仪 品牌：KLA-Filmetrics型号：Profilm3D关键词标签：白光干涉仪、光学轮廓仪、粗糙度简短描述：结合垂直扫描干涉 (VSI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济型非接触式光学轮廓仪
产品名称：光学轮廓仪品牌：KLA型号：Zeta-300关键词标签：光学轮廓仪、共聚焦显微镜、缺陷检测、白光干涉简短描述：Zeta-300是采用ZDot™专利技术和Multi-Mode光学系统的落地式非接触式表面轮廓测试系统。
